随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

法比奥拉·吉亞諾提

电子海图显示与信息系统

庫福爾登

3月2日-5日陕西大型煤矿竞拍成交价格表(点击图片查看)

咱先说“火”的那一面。大家看看上图，陕蒙那几个年产千万吨煤炭的国企大矿，特别是高卡、低硫的优质块煤，竞拍现场那叫一个激烈!不仅没跌，甚至还有溢价十几块成交的。为啥?说白了就是部分终端年前没备货、刚需采购必须下手，咬着牙也得往上加钱抢。华南进口煤价格继续涨，国际海运费一周上涨1.25美元/吨，进口煤倒挂，印尼减产和斋月持续影响中。

但你再转头看看“冰”的那一面。简直没眼看。那些普通品种、低卡煤民营小矿，起拍价和市场报价一降再降，照样大面积流拍!下游买家现在一个个鬼精鬼精的，魏桥电厂最新通知：明天(3月6日)开始，七电下调5元。巴图塔、燕家塔站台收购价下调10元/吨求购。很多大型终端用煤工厂全在玩“拖字诀”——就等你降价?你不降价，那我再等等，反正我不急，总有人想割肉出货。

3月5日山西炼焦煤竞拍成交情况汇总

不过，随着工厂复工复产，电厂日耗已逐渐回升，3月4日，沿海六大电合计库存1360.6万吨(+4.1)，日耗69.9万吨(+0.17)，可用天数19.4天。钢厂、焦化厂本周已开始积极备产，原煤料采购量开始加大，焦煤矿报价出现上涨。这从本周山西地区炼焦煤竞拍成交率和成交数量上升就可以看出，煤炭宝3月5日会员日报显示，山西挂牌65000吨，成交55000吨，所有煤种上涨13-23元。

近日，随着中东地区地缘冲突持续升级，国际油气价格迎来飙涨。有业内机构指出，如果天然气价格持续上涨，或将带动买家由天然气转向煤炭，从而支撑东北亚地区的动力煤需求。

业内专家观点

个人认为，动力煤竞拍要看榆林地区国有大矿才比较有参考价值，看内蒙地区价格则要看神华巴图塔站台的收购价。焦煤行情则要看山西竞拍结果。

煤炭宝(MTB)最后说一下重点：

短期来看，两会召开大家都在观望，都想看看2026年煤市政策方面如何定调，价格应该不会大起大落，以窄幅震荡为主，但两会后，产地煤矿陆续复工，随着非电需求释放，加上国际煤价的支撑，3月煤价整体大概率还会保持上涨势头，不过电厂现在高库存、日耗上升缓慢也会压着涨幅。目前，国内煤价走势还未定调，大家还请稍安勿躁。